SF6氣體抽真空充氣裝置用本身的壓縮機抽真空的操作方法
　　1)關閉SF6氣體抽真空裝置吸氣閥、排氣閥，旋下排氣閥的旁通孔螺塞，裝上排氣管，打開旁通孔道，以便排放空氣。
　　2)關閉系統中通大氣的閥門(如充注閥、放空氣閥等)，打開系統中其他所有閥門。
　　3)系統的冷凝器若為水冷冷凝器，則應放盡冷凝器中的冷卻水，否則會因冷卻水溫度較低而使系統內的水分不易蒸發，難以被抽盡。
　　4)將油壓控制器和低壓控制器的接點強迫常通，啟動壓縮機，待油壓正常后慢慢打開吸氣閥，將能量調節裝置放在最小一擋。由于制冷壓縮機的排空閥通徑較小，故開始時吸氣閥不能開得很大，能量調節裝置也不能放在高擋，隨著系統內壓力降低，可逐漸開大吸氣閥并逐步加載，增加吸氣量。在抽氣過程中，制冷壓縮機的油壓不得低于50kPa。
　　5)抽真空應采用間斷抽空法，在壓縮機連續抽氣至聽不到氣流聲時，將排氣管浸入冷凍機油杯中，觀察管口冒泡情況。若5min內無氣泡冒出，可認為系統內氣體已基本抽完。若排氣管口長時間有氣泡冒出，則說明壓縮機本身或系統有泄漏，應檢查排除。
　　檢查時，先關閉壓縮機的吸氣閥，檢查壓縮機本身是否泄漏。若壓縮機不漏，則盛油容器里就不出現氣泡，同時也說明是系統里有毛病;若壓縮機有漏，氣泡就會連續產生，這往往是軸封不密合所造成的。如果氣泡開始時較大，然后逐漸變小，氣泡出現的間隔時間也越來越長，這說明軸封從不密合到逐漸密合。若發現管端(插入面不深的情況下)出現冷凍機油反復吸進吐出的現象，將管端插到油內深處就看不到此現象，這種情況一般是由閥片不密合所致，經重負荷使用后會有一定好轉。在抽好真空后，應先關閉排空孔道，然后再停機，以防止停機后因閥片的不密合而出現空氣倒流現象。
SF6氣體抽真空充氣裝置注意事項：
　　1)當真空度抽至8.659kPa時，壓縮機的油壓已經很低，不能再繼續抽真空。
　　2)在使用本身的壓縮機抽真空的過程中，假如壓縮機自身帶潤滑油泵時，則隨著系統內真空度的提高會使潤滑油泵工作條件惡化，引起機器運動部件的損壞，所以當油壓(指壓差)小于26.7kPa時，應立即停機。
　　3)抽真空結束后要對壓縮機進行拆洗，更換新的潤滑油。